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碳化硅單晶

發(fā)布于2023-09-25 12:00:34 點擊:0

碳化硅功率半導體產業(yè)鏈主要包含單晶材料、外延材料、器件、模塊和應用這幾個環(huán)節(jié)。

碳化硅單晶是碳化硅功率半導體技術和產業(yè)的基礎,質量、大尺寸的碳化硅單晶材料是碳化硅技術發(fā)展首要解決的問題,持續(xù)增大晶圓尺寸、降低缺陷密度(微管、位錯、層錯等)是其重點發(fā)展方向。

碳化硅單晶材料主要有導通型襯底和半絕緣襯底兩種, 是第三代半導體材料技術成熟度最高的材料,目前基本被國外企業(yè)壟斷。

 

高導通型襯底材料是制造碳化硅功率半導體器件的基材。半絕緣襯底具備高電阻的同時可以承受更高的頻率,因此在5G通訊和新一代智能互聯(lián),傳感感應器件上具備廣闊的應用空間。

國內主要碳化硅單晶襯底材料企業(yè)和研發(fā)機構已經具備了成熟的4英寸零微管碳化硅單晶產品,并已經研發(fā)出了6英寸單晶樣品,但是在晶體材料質量和產業(yè)化能力方面距離國際先進水平存在一定差距。

當前,新一輪科技革命與產業(yè)變革蓄勢待發(fā),全球新材料產業(yè)競爭格局正在進行重大調整。未來五年,是產業(yè)結構調整、制造業(yè)轉型升級的關鍵時期。


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